Электронолитография Б. Н. Васичев
Сохранить в:
Автор: | Васичев Б. Н. |
---|---|
Тип документа: | Книга |
Язык: | Russian |
Год издания: |
Москва Знание 1982
|
Рубрика: | |
Ключевые слова: |
Схожие документы
-
Генераторы изображений в производстве интегральных микросхем
Автор: Глазков И. М.
Год издания: (1981) -
Высокоразрешающая неорганическая фотолитография
Автор: Гранкин И. М.
Год издания: (1983) -
Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике
Автор: Валиев К. А.
Год издания: (1984) -
Радиационная микролитография в процессах изготовления изделий функциональной электроники
Год издания: (1988) -
Фото-, электронно- и рентгенорезисты
Автор: Боков Ю. С.
Год издания: (1982)