|
|
|
|
| LEADER |
01081nam0a2200265 i 4500 |
| 001 |
CAE1B334-A88E-4987-8F38-1B1F9234ABFB |
| 010 |
|
|
|a 5-02-013845-2
|d р.1.90
|
| 100 |
|
|
|a 20110826d1988 |||y0rusy02 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a ||||000zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Искусственная эпитаксия - перспективная технология элементной базы микроэлектроники
|f Е. И. Гиваргизов
|g с предисл. Е. П. Велихова
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Наука
|d 1988
|
| 215 |
|
|
|a 175, [1]с.
|c ил.
|d 20 см
|
| 225 |
2 |
|
|a Проблемы науки и технического прогресса
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 158-176
|
| 606 |
|
|
|a Полупроводниковые пленки
|x Получение
|
| 686 |
|
|
|a 22.379.2
|2 rubbk
|
| 686 |
|
|
|a 29
|2 rugasnti
|
| 700 |
|
1 |
|a Гиваргизов
|b Е. И.
|g Евгений Инвиевич
|
| 702 |
|
1 |
|a Велихов
|b Е. П.
|4 080
|
| 801 |
|
0 |
|b ГПНТБ России
|a RU
|c 20110826
|
