Комментарии: Искусственная эпитаксия - перспективная технология элементной базы микроэлектроники

Сохранить в:

Библиографические подробности
Автор:	Гиваргизов Е. И.
Тип документа:	Книга
Язык:	Russian
Год издания:	Москва Наука 1988
Рубрика:	Получение
Ключевые слова:	Полупроводниковые пленки Получение

Ваш комментарий будет первым!