Искусственная эпитаксия - перспективная технология элементной базы микроэлектроники Е. И. Гиваргизов
Сохранить в:
Автор: | Гиваргизов Е. И. |
---|---|
Тип документа: | Книга |
Язык: | Russian |
Год издания: |
Москва Наука 1988
|
Рубрика: | |
Ключевые слова: |
Схожие документы
-
Молекулярно-лучевая эпитаксия и гетероструктуры
Год издания: (1989) -
Жидкофазная эпитаксия кремния
Год издания: (1989) -
Переходные области эпитаксиальных полупроводниковых пленок
Автор: Александров Л. Н.
Год издания: (1978) -
Кристаллизация тонких пленок
Год издания: (1970) -
Газофазная микрометаллургия полупроводников
Автор: Дорфман В. Ф.
Год издания: (1974)