Описание: Катодный метод создания пленочных элементов микросхем

Сохранить в:

Библиографические подробности
Автор:	Иванов Р. Д.
Тип документа:	Книга
Язык:	Russian
Год издания:	Москва Энергия 1972
Рубрика:	Получение Производство
Ключевые слова:	Пленки тонкие Получение Микроэлектронные схемы интегральные Производство

Недоступно описание.