Катодный метод создания пленочных элементов микросхем Р. Д. Иванов
Сохранить в:
Автор: | Иванов Р. Д. |
---|---|
Тип документа: | Книга |
Язык: | Russian |
Год издания: |
Москва Энергия 1972
|
Рубрика: | |
Ключевые слова: |
Схожие документы
-
Тонкопленочная технология
Автор: Берри Р.
Год издания: (1972) -
Вакуумная техника в производстве интегральных схем
Автор: Данилин Б. С.
Год издания: (1972) -
Получение тонкопленочных элементов микросхем
Автор: Данилин Б. С.
Год издания: (1977) -
Химия и технология неорганических пленок
Автор: Борисенко А. И.
Год издания: (1973) -
Технология микросхем
Автор: Парфенов О. Д.
Год издания: (1986)