Катодный метод создания пленочных элементов микросхем Р. Д. Иванов

Сохранить в:
Библиографические подробности
Автор: Иванов Р. Д.
Тип документа: Книга
Язык:Russian
Год издания: Москва Энергия 1972
Рубрика:
Ключевые слова:
LEADER 00979nam0a2200253 i 4500
001 CCFDDC43-4D43-49DD-B3D7-5F99F3988EE6
100 |a 20170807d1972 k y0rusy02 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a z 000#y 
200 1 |a Катодный метод создания пленочных элементов микросхем  |f Р. Д. Иванов 
210 |a Москва  |c Энергия  |d 1972 
215 |a 111с.  |c ил.  |d 20 см 
225 2 |a Библиотека радиотехнолога  |v вып. 1 
320 |a Библиография: с. 105-109 (101 название) 
606 |a Пленки тонкие  |x Получение 
606 |a Микроэлектронные схемы интегральные  |x Производство 
686 |a 32  |2 rubbk 
686 |a 47  |2 rugasnti 
700 1 |a Иванов  |b Р. Д.  |g Роберт Дмитриевич 
801 0 |b ГПНТБ России  |a RU  |c 20170807