|
|
|
|
LEADER |
00979nam0a2200253 i 4500 |
001 |
CCFDDC43-4D43-49DD-B3D7-5F99F3988EE6 |
100 |
|
|
|a 20170807d1972 k y0rusy02 ca
|
101 |
0 |
|
|a rus
|
102 |
|
|
|a RU
|
105 |
|
|
|a a z 000#y
|
200 |
1 |
|
|a Катодный метод создания пленочных элементов микросхем
|f Р. Д. Иванов
|
210 |
|
|
|a Москва
|c Энергия
|d 1972
|
215 |
|
|
|a 111с.
|c ил.
|d 20 см
|
225 |
2 |
|
|a Библиотека радиотехнолога
|v вып. 1
|
320 |
|
|
|a Библиография: с. 105-109 (101 название)
|
606 |
|
|
|a Пленки тонкие
|x Получение
|
606 |
|
|
|a Микроэлектронные схемы интегральные
|x Производство
|
686 |
|
|
|a 32
|2 rubbk
|
686 |
|
|
|a 47
|2 rugasnti
|
700 |
|
1 |
|a Иванов
|b Р. Д.
|g Роберт Дмитриевич
|
801 |
|
0 |
|b ГПНТБ России
|a RU
|c 20170807
|