Описание: Литография в производстве интегральных микросхем

Сохранить в:

Библиографические подробности
Автор:	Родионов Ю. А.
Тип документа:	Книга
Язык:	Russian
Год издания:	Минск Дизайн ПРО 1998
Предметная рубрика:	Микроэлектроника Фотографические процессы Фотошаблоны Травление Тонкопленочные слои Фотолитография
Рубрика:	Производство
Ключевые слова:	Литография Микроэлектронные схемы интегральные Производство

985-6182-64-6