|
|
|
|
| LEADER |
01275nam0a2200325 i 4500 |
| 001 |
D4F9C2E9-DCE4-4F47-BB66-1F0C1EE0E6DF |
| 010 |
|
|
|a 985-6182-64-6
|d р.36.00
|
| 100 |
|
|
|a 20010221d1998 |||y0rusy02 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a BY
|
| 105 |
|
|
|a a j 000#y
|
| 200 |
1 |
|
|a Литография в производстве интегральных микросхем
|e Учеб. пособие для учащихся проф.-техн. училищ профессии электрон. техники
|f Ю.А. Родионов
|
| 210 |
|
|
|a Минск
|c Дизайн ПРО
|d 1998
|
| 215 |
|
|
|a 96с.
|c ил.
|
| 300 |
|
|
|a На обл. авт. не указан.
|
| 606 |
|
|
|a Литография
|
| 606 |
|
|
|a Микроэлектронные схемы интегральные
|x Производство
|
| 610 |
1 |
|
|a Микроэлектроника
|
| 610 |
1 |
|
|a Фотографические процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a Фотошаблоны
|
| 610 |
1 |
|
|a Травление
|
| 610 |
1 |
|
|a Тонкопленочные слои
|
| 610 |
1 |
|
|a Фотолитография
|
| 686 |
|
|
|a 37.83
|a 32.844.15
|2 rubbk
|
| 686 |
|
|
|a 60.29
|2 rugasnti
|
| 700 |
|
0 |
|a Родионов
|b Ю. А.
|
| 801 |
|
0 |
|b НБУР
|a RU
|c 20010221
|
