|
|
|
|
| LEADER |
01031nam0a2200265 i 4500 |
| 001 |
DDDE7D4A-85B7-41FA-9423-0325B21A6BA4 |
| 010 |
|
|
|d р.0.89
|
| 100 |
|
|
|a 20160328d1972 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 000#y
|
| 200 |
1 |
|
|a Вакуумная техника в производстве интегральных схем
|f Б. С. Данилин
|g под общ. ред. Р. А. Нилендера
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Энергия
|d 1972
|
| 215 |
|
|
|a 256с.
|c черт.
|d 20 см
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 245-254
|
| 606 |
|
|
|a Пленки тонкие
|x Получение
|x Применение вакуума
|
| 606 |
|
|
|a Микроэлектронные схемы интегральные
|x Производство
|
| 686 |
|
|
|a 34
|2 rubbk
|
| 686 |
|
|
|a 55
|2 rugasnti
|
| 700 |
|
1 |
|a Данилин
|b Б. С.
|g Борис Степанович
|
| 702 |
|
1 |
|a Нилендер
|b Р. А.
|4 340
|
| 801 |
|
0 |
|b ГПНТБ России
|a RU
|c 20160328
|
