Вакуумная техника в производстве интегральных схем Б. С. Данилин
Сохранить в:
Автор: | Данилин Б. С. |
---|---|
Тип документа: | Книга |
Язык: | Russian |
Год издания: |
Москва Энергия 1972
|
Рубрика: | |
Ключевые слова: |
Схожие документы
-
Вакуумное нанесение тонких пленок
Автор: Данилин Б. С.
Год издания: (1967) -
Вакуумное нанесение пленок в квазизамкнутом объеме
Год издания: (1975) -
Тонкопленочная технология
Автор: Берри Р.
Год издания: (1972) -
Катодный метод создания пленочных элементов микросхем
Автор: Иванов Р. Д.
Год издания: (1972) -
Получение тонкопленочных элементов микросхем
Автор: Данилин Б. С.
Год издания: (1977)