|
|
|
|
| LEADER |
01014nam0a2200253 i 4500 |
| 001 |
FD27E484-2886-4E20-8208-3A7C35661995 |
| 010 |
|
|
|a 5-335-00572-6
|d р.0.70
|
| 100 |
|
|
|a 20081114d1990 |||y0rusy02 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a UA
|
| 105 |
|
|
|a a ||||000zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Технология обработки поверхностей в микроэлектронике
|f Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев
|
| 210 |
|
|
|a Киев
|c Тэхника
|d 1990
|
| 215 |
|
|
|a 205, [1]с.
|c граф.
|d 20 см
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 197-204 (127 назв.)
|
| 606 |
|
|
|a Микроэлектронные схемы интегральные
|x Детали
|x Обработка поверхности
|
| 686 |
|
|
|a 32.844.15
|2 rubbk
|
| 686 |
|
|
|a 47
|2 rugasnti
|
| 700 |
|
1 |
|a Полтавцев
|b Ю. Г.
|g Юрий Гаврилович
|
| 701 |
|
1 |
|a Князев
|b А. С.
|g Александр Сергеевич
|
| 801 |
|
0 |
|b ГПНТБ России
|a RU
|c 20081114
|
