Технология обработки поверхностей в микроэлектронике Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев
Сохранить в:
Автор: | Полтавцев Ю. Г. |
---|---|
Другие авторы: | Князев А. С. |
Тип документа: | Книга |
Язык: | Russian |
Год издания: |
Киев Тэхника 1990
|
Рубрика: | |
Ключевые слова: |
Схожие документы
-
Измерения и контроль в микроэлектронике
Год издания: (1984) -
Лазерная технология в производстве интегральных микросхем
Автор: Верховский Е. И.
Год издания: (1990) -
Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике
Автор: Валиев К. А.
Год издания: (1984) -
Обработка монокристаллов в микроэлектронике
Автор: Корбань В. И.
Год издания: (1988) -
Прогрессивные процессы обработки фасонных поверхностей
Автор: Кулик В. К.
Год издания: (1987)