Анализ дефектов структуры полупроводников по рентгенотопографическим и поляризационно-оптическим розеткам контраста

Сохранить в:
Библиографические подробности
Автор: Окунев, Алексей Олегович
Другие авторы: Шульпина, Ирэн Леонидовна
Тип документа: Автореферат
Язык:Russian
Год издания: 2009
Online-ссылка:http://eanbur.unatlib.ru/handle/123456789/26808
Ключевые слова: