|
|
|
|
| LEADER |
01049nam0a2200265 i 4500 |
| 001 |
1E7A856C-3C5E-48B2-8514-12AA904F4954 |
| 010 |
|
|
|a 5-283-03939-0
|d р.3.60
|
| 100 |
|
|
|a 20081114d1989 |||y0rusy02 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a ||||000zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок
|f Б. С. Данилин
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Энергоатомиздат
|d 1989
|
| 215 |
|
|
|a 326, [1]с.
|c ил.
|d 22 см
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 316-324 (182 назв.)
|
| 606 |
|
|
|a Пленки тонкие
|x Осаждение
|
| 606 |
|
|
|a Электронно-ионная технология
|
| 606 |
|
|
|a Микроэлектронные схемы интегральные
|x Производство
|
| 686 |
|
|
|a 32.844.15
|2 rubbk
|
| 686 |
|
|
|a 47
|2 rugasnti
|
| 700 |
|
1 |
|a Данилин
|b Б. С.
|g Борис Степанович
|
| 801 |
|
0 |
|b ГПНТБ России
|a RU
|c 20081114
|
