Описание: Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок

Сохранить в:

Библиографические подробности
Автор:	Данилин Б. С.
Тип документа:	Книга
Язык:	Russian
Год издания:	Москва Энергоатомиздат 1989
Рубрика:	Осаждение Производство
Ключевые слова:	Пленки тонкие Осаждение Электронно-ионная технология Микроэлектронные схемы интегральные Производство

5-283-03939-0