Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок Б. С. Данилин
Сохранить в:
Автор: | Данилин Б. С. |
---|---|
Тип документа: | Книга |
Язык: | Russian |
Год издания: |
Москва Энергоатомиздат 1989
|
Рубрика: | |
Ключевые слова: |
Схожие документы
-
Технология и оборудование для нанесения тонких пленок
Автор: Березин М. И.
Год издания: (1972) -
Технология тонких пленок
Автор: Ветошкин В. М.
Год издания: (2013) -
Эллипсометрия тонких пленок
Автор: Федотова И. В.
Год издания: (1996) -
Коагуляция и динамика тонких пленок
Автор: Духин С. С.
Год издания: (1986) -
Основы технологии тонких и толстых пленок
Автор: Мельниченко А. Т.
Год издания: (1989)