Описание: Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур

Сохранить в:

Библиографические подробности
Автор:	Киреев В. Ю.
Другие авторы:	Данилин Б. С., Кузнецов В. И.
Тип документа:	Книга
Язык:	Russian
Год издания:	Москва Радио и связь 1983
Рубрика:	Травление
Ключевые слова:	Микроэлектронные схемы интегральные Травление

Недоступно описание.