Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур В. Ю. Киреев, Б. С. Данилин, В. И. Кузнецов
Сохранить в:
| Автор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | , |
| Тип документа: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Год издания: |
Москва Радио и связь 1983
|
| Рубрика: | |
| Ключевые слова: |