|
|
|
|
| LEADER |
01153nam0a2200265 i 4500 |
| 001 |
2C3DBD4D-F46B-4014-9DB9-C1A9CF5F6A0E |
| 100 |
|
|
|a 20190326d1983 k y0rusy02 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 000#y
|
| 200 |
1 |
|
|a Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур
|f В. Ю. Киреев, Б. С. Данилин, В. И. Кузнецов
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Радио и связь
|d 1983
|
| 215 |
|
|
|a 126с.
|c ил.
|d 20 см
|
| 225 |
2 |
|
|a Массовая библиотека инженера "Электрон"
|v вып. 36
|
| 320 |
|
|
|a Библиография: с. 121-125 (92 названия)
|
| 606 |
|
|
|a Микроэлектронные схемы интегральные
|x Травление
|
| 686 |
|
|
|a 32
|2 rubbk
|
| 686 |
|
|
|a 81
|2 rugasnti
|
| 700 |
|
1 |
|a Киреев
|b В. Ю.
|g Валерий Юрьевич
|
| 701 |
|
1 |
|a Данилин
|b Б. С.
|g Борис Степанович
|
| 701 |
|
1 |
|a Кузнецов
|b В. И.
|g Владимир Иванович
|
| 801 |
|
0 |
|b ГПНТБ России
|a RU
|c 20190326
|
