Описание: Радиационная микролитография в процессах изготовления изделий функциональной электроники

Сохранить в:

Библиографические подробности
Другие авторы:	Новиков В. В., Пономарев А. Н., Янюк В. И., Суслов Г. П.
Тип документа:	Книга
Язык:	Russian
Год издания:	Ленинград ЛДНТП 1988
Рубрика:	Производство
Ключевые слова:	Микроэлектронные схемы интегральные Производство Фотолитография

Недоступно описание.