|
|
|
|
| LEADER |
01554nam0a2200325 i 4500 |
| 001 |
3F4802B1-0F16-4018-9EE4-CC8C8867931A |
| 010 |
|
|
|d р.0.19
|
| 100 |
|
|
|a 20081115d1988 |||y0rusy02 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a ||||000zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Радиационная микролитография в процессах изготовления изделий функциональной электроники
|f В. В. Новиков [и др.]
|g Ленингр. Дом науч.-техн. пропаганды
|
| 210 |
|
|
|a Ленинград
|c ЛДНТП
|d 1988
|
| 215 |
|
|
|a 29, [3]с.
|c ил.
|d 22 см
|
| 225 |
2 |
|
|a Новое в конструировании и технологии производства радиоэлектронной аппаратуры"
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 28-30 (78 назв.)
|
| 606 |
|
|
|a Микроэлектронные схемы интегральные
|x Производство
|
| 606 |
|
|
|a Фотолитография
|
| 686 |
|
|
|a 32.844.1-06
|2 rubbk
|
| 686 |
|
|
|a 47
|2 rugasnti
|
| 701 |
|
1 |
|a Новиков
|b В. В.
|g Владимир Васильевич
|
| 701 |
|
1 |
|a Пономарев
|b А. Н.
|
| 701 |
|
1 |
|a Янюк
|b В. И.
|
| 701 |
|
1 |
|a Суслов
|b Г. П.
|
| 711 |
0 |
2 |
|a Ленинградский Дом научно-технической пропаганды
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Ленинградский Дом научно-технической пропаганды
|
| 801 |
|
0 |
|b ГПНТБ России
|a RU
|c 20081115
|
