Радиационная микролитография в процессах изготовления изделий функциональной электроники В. В. Новиков [и др.]

Сохранить в:
Библиографические подробности
Другие авторы: Новиков В. В., Пономарев А. Н., Янюк В. И., Суслов Г. П.
Тип документа: Книга
Язык:Russian
Год издания: Ленинград ЛДНТП 1988
Рубрика:
Ключевые слова: