Описание: Получение эпитаксиальных структур кремния с контролируемым примесным профилем

Сохранить в:

Библиографические подробности
Автор:	Харченко В. В.
Тип документа:	Книга
Язык:	Russian
Год издания:	Ташкент Фан 1989
Рубрика:	Осаждение из газовой фазы Выращивание
Ключевые слова:	Кремний Осаждение из газовой фазы Полупроводниковые пленки Выращивание

5-648-00390-0