Получение эпитаксиальных структур кремния с контролируемым примесным профилем В. В. Харченко

Сохранить в:
Библиографические подробности
Автор: Харченко В. В.
Тип документа: Книга
Язык:Russian
Год издания: Ташкент Фан 1989
Рубрика:
Ключевые слова: