Получение эпитаксиальных структур кремния с контролируемым примесным профилем В. В. Харченко
Сохранить в:
Автор: | Харченко В. В. |
---|---|
Тип документа: | Книга |
Язык: | Russian |
Год издания: |
Ташкент Фан 1989
|
Рубрика: | |
Ключевые слова: |
Схожие документы
-
Осаждение из газовой фазы
Год издания: (1970) -
Высокодисперсные порошки вольфрама и молибдена
Автор: Каламазов Р. У.
Год издания: (1988) -
Жидкофазная эпитаксия кремния
Год издания: (1989) -
Системный анализ процессов химической технологии
Автор: Кафаров В. В.
Год издания: (1983) -
Переходные области эпитаксиальных полупроводниковых пленок
Автор: Александров Л. Н.
Год издания: (1978)