Описание: Фото-, электроно-, ренгено- и лазерная литография в производстве интегральных микросхем

Сохранить в:

Библиографические подробности
Автор:	Карпович Р. А.
Тип документа:	Книга
Язык:	Russian
Год издания:	Москва 1976
Рубрика:	Производство
Ключевые слова:	Интегральные микросхемы Производство

Недоступно описание.