Фото-, электроно-, ренгено- и лазерная литография в производстве интегральных микросхем Р. А. Карпович
Сохранить в:
Автор: | Карпович Р. А. |
---|---|
Тип документа: | Книга |
Язык: | Russian |
Год издания: |
Москва 1976
|
Рубрика: | |
Ключевые слова: |
Схожие документы
-
Технология гибридных интегральных микросхем
Автор: Жиров Г. А.
Год издания: (1977) -
Литография в производстве интегральных микросхем
Автор: Родионов Ю. А.
Год издания: (1998) -
Лазерная технология в производстве интегральных микросхем
Автор: Верховский Е. И.
Год издания: (1990) -
Технология микросхем
Автор: Иванов-Есипович Н. К.
Год издания: (1972) -
Технология гибриднопленочных микросхем
Автор: Гимпельсон В. Г.
Год издания: (1971)