|
|
|
|
| LEADER |
01462nam0a2200277 i 4500 |
| 001 |
5D606D62-06DA-4953-A41F-02667432D2E7 |
| 100 |
|
|
|a 20181129d1976 k y0rusy02
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a y z 000#y
|
| 200 |
1 |
|
|a Фото-, электроно-, ренгено- и лазерная литография в производстве интегральных микросхем
|f Р. А. Карпович
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|d 1976
|
| 215 |
|
|
|a [1], 81с.
|d 21 см
|
| 225 |
2 |
|
|a Тематические указатели литературы
|f Министерство электронной промышленности СССР, ЦНИИ "Электроника"
|i Технология, организация производства. Оборудование
|v вып. 177
|
| 606 |
|
|
|a Интегральные микросхемы
|x Производство
|
| 686 |
|
|
|a 32
|a 91
|2 rubbk
|
| 686 |
|
|
|a 13.41
|2 rugasnti
|
| 700 |
|
1 |
|a Карпович
|b Р. А.
|g Раиса Альбиновна
|
| 711 |
0 |
2 |
|a СССР
|b Министерство электронной промышленности
|
| 711 |
0 |
2 |
|a "Электроника", институт
|c (Москва)
|
| 712 |
0 |
2 |
|a СССР
|b Министерство электронной промышленности
|
| 712 |
0 |
2 |
|a "Электроника", институт
|c (Москва)
|
| 801 |
|
0 |
|b ГПНТБ России
|a RU
|c 20181129
|
