Методы исследования дефектов структур полупроводников А. А. Елисеев

Сохранить в:
Библиографические подробности
Автор: Елисеев А. А.
Тип документа: Книга
Язык:Russian
Год издания: Москва МИТХТ 1983
Рубрика:
Ключевые слова:
LEADER 01156nam0a2200265 i 4500
001 6A548BC9-AB42-4BBA-B3C4-C468806FFF83
010 |d р.0.15 
100 |a 20170125d1983 k y0rusy02 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a j 000#y 
200 1 |a Методы исследования дефектов структур полупроводников  |e учебное пособие  |f А. А. Елисеев  |g Московский институт химического машиностроения 
210 |a Москва  |c МИТХТ  |d 1983 
215 |a 88с.  |c ил.  |d 20 см 
320 |a Библиография: с. 88 (6 названий) 
606 |a Полупроводники  |x Дефекты 
686 |a 22  |2 rubbk 
686 |a 29.19.31  |2 rugasnti 
700 1 |a Елисеев  |b А. А.  |g Аркадий Александрович  
711 0 2 |a Московский институт химического машиностроения 
712 0 2 |a Московский институт химического машиностроения 
801 0 |b ГПНТБ России  |a RU  |c 20170125