Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем И. А. Белов, В. А. Шеленшкевич, Л. И. Шуб
Сохранить в:
| Автор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | , |
| Тип документа: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Год издания: |
Ленинград Политехника 1991
|
| Рубрика: | |
| Ключевые слова: |
Недоступно
| Шифр: |
Временно недоступно |
|---|---|
| Копировать 1 | Доступно |