Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем И. А. Белов, В. А. Шеленшкевич, Л. И. Шуб
Сохранить в:
| Автор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | , |
| Тип документа: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Год издания: |
Ленинград Политехника 1991
|
| Рубрика: | |
| Ключевые слова: |
5-7325-0001-4