Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем И. А. Белов, В. А. Шеленшкевич, Л. И. Шуб

Сохранить в:
Библиографические подробности
Автор: Белов И. А.
Другие авторы: Шеленшкевич В. А., Шуб Л. И.
Тип документа: Книга
Язык:Russian
Год издания: Ленинград Политехника 1991
Рубрика:
Ключевые слова: