|
|
|
|
| LEADER |
01410nam0a2200277 i 4500 |
| 001 |
89A1176C-F136-4C1F-84F2-30A3FC14385A |
| 010 |
|
|
|a 5-7325-0001-4
|d р.5.00
|
| 100 |
|
|
|a 20081225d1991 |||y0rusy02 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a ||||000zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем
|f И. А. Белов, В. А. Шеленшкевич, Л. И. Шуб
|
| 210 |
|
|
|a Ленинград
|c Политехника
|d 1991
|
| 215 |
|
|
|a 287, [1]с.
|c ил.
|d 22 см
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 283-286 (77 назв.)
|
| 606 |
|
|
|a Полупроводниковые приборы
|x Производство
|x Гидродинамические исследования
|
| 606 |
|
|
|a Микроэлектронные схемы интегральные
|x Производство
|x Гидродинамические исследования
|
| 686 |
|
|
|a 32.852-06
|2 rubbk
|
| 686 |
|
|
|a 47
|2 rugasnti
|
| 700 |
|
1 |
|a Белов
|b И. А.
|g Игорь Александрович
|
| 701 |
|
1 |
|a Шеленшкевич
|b В. А.
|g Владимир Александрович
|
| 701 |
|
1 |
|a Шуб
|b Л. И.
|g Леонид Исакович
|
| 801 |
|
0 |
|b ГПНТБ России
|a RU
|c 20081225
|
