Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем И. А. Белов, В. А. Шеленшкевич, Л. И. Шуб

Сохранить в:
Библиографические подробности
Автор: Белов И. А.
Другие авторы: Шеленшкевич В. А., Шуб Л. И.
Тип документа: Книга
Язык:Russian
Год издания: Ленинград Политехника 1991
Рубрика:
Ключевые слова:
LEADER 01410nam0a2200277 i 4500
001 89A1176C-F136-4C1F-84F2-30A3FC14385A
010 |a 5-7325-0001-4  |d р.5.00 
100 |a 20081225d1991 |||y0rusy02 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a ||||000zy 
200 1 |a Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем  |f И. А. Белов, В. А. Шеленшкевич, Л. И. Шуб 
210 |a Ленинград  |c Политехника  |d 1991 
215 |a 287, [1]с.  |c ил.  |d 22 см 
320 |a Библиогр.: с. 283-286 (77 назв.) 
606 |a Полупроводниковые приборы  |x Производство  |x Гидродинамические исследования 
606 |a Микроэлектронные схемы интегральные  |x Производство  |x Гидродинамические исследования 
686 |a 32.852-06  |2 rubbk 
686 |a 47  |2 rugasnti 
700 1 |a Белов  |b И. А.  |g Игорь Александрович 
701 1 |a Шеленшкевич  |b В. А.  |g Владимир Александрович 
701 1 |a Шуб  |b Л. И.  |g Леонид Исакович 
801 0 |b ГПНТБ России  |a RU  |c 20081225