Разработка метода модификации свойств ITO плёнок ионно-лучевой обработкой при реактивном ВЧ магнетронном напылении Закирова Раушания Мазитовна

Сохранить в:
Библиографические подробности
Автор: Закирова Р. М.
Тип документа: Книга
Язык:Russian
Год издания: Ижевск Удмуртский государственный университет 2013
Рубрика:
Ключевые слова: