Разработка метода модификации свойств ITO плёнок ионно-лучевой обработкой при реактивном ВЧ магнетронном напылении Закирова Раушания Мазитовна

Сохранить в:
Библиографические подробности
Автор: Закирова Р. М.
Тип документа: Книга
Язык:Russian
Год издания: Ижевск Удмуртский государственный университет 2013
Рубрика:
Ключевые слова:
LEADER 01703nam0a2200277 i 4500
001 EC7418F6-7CE0-4B41-A947-628197C791E5
100 |a 20140120d2013 |||y0rusy0189 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a m 000#y 
200 1 |a Разработка метода модификации свойств ITO плёнок ионно-лучевой обработкой при реактивном ВЧ магнетронном напылении  |e автореферат дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.01, 01.04.07  |f Закирова Раушания Мазитовна  |g [науч. рук. Крылов Петр Николаевич] 
210 |a Ижевск  |c Удмуртский государственный университет  |d 2013 
215 |a 21, [1]с.  |c ил.  |d 20 см 
300 |a На правах рукоп. 
320 |a Библиогр.: с. 20-33 
328 |a Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 01.04.0101.04.07, 01.04.07 
606 |a Прозрачные проводящие оксиды  |x Структура  |x Влияние ионно-лучевой обработки 
606 |a Прозрачные проводящие оксиды  |x Структура  |x Влияние магнетронного напыления 
686 |a 22.371.26  |2 rubbk 
686 |a 29.19  |2 rugasnti 
700 1 |a Закирова  |b Р. М.  |g Раушания Мазитовна  |3 LIBNET\UAF\0000019455 
702 1 |a Крылов  |b П. Н.  |g Петр Николаевич  |4 727 
801 0 |b ГПНТБ России  |a RU  |c 20140120