Разработка метода модификации свойств ITO плёнок ионно-лучевой обработкой при реактивном ВЧ магнетронном напылении Закирова Раушания Мазитовна
Сохранить в:
| Автор: | |
|---|---|
| Тип документа: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Год издания: |
Ижевск Удмуртский государственный университет 2013
|
| Рубрика: | |
| Ключевые слова: |