Разработка метода модификации свойств ITO плёнок ионно-лучевой обработкой при реактивном ВЧ магнетронном напылении Закирова Раушания Мазитовна
Сохранить в:
Автор: | |
---|---|
Тип документа: | Книга |
Язык: | Russian |
Год издания: |
Ижевск Удмуртский государственный университет 2013
|
Рубрика: | |
Ключевые слова: |
Ваш комментарий будет первым!