Пропуск в контексте
Toggle navigation
Eдиный поиск по ресурсам
Оставить отзыв
Профиль
Выход
Логин
Язык
English
Deutsch
Español
Français
Italiano
日本語
Nederlands
Português
Português (Brasil)
中文(简体)
中文(繁體)
Türkçe
עברית
Gaeilge
Cymraeg
Ελληνικά
Català
Euskara
Русский
čeština
Suomi
Svenska
polski
Dansk
slovenščina
اللغة العربية
বাংলা
Galego
Tiếng Việt
НЭБ УР
Интернет-проекты
Все поля
Заглавие
Автор
Предмет
ISBN/ISSN
Ключевые слова
Fulltext
Найти
Расширенный поиск
Введение в фотолитографию...
Описание
Цитировать
Отправить на Email
Добавить в Избранное
Заказать по ЭДД
Введение в фотолитографию [Ю. С. Боков и др.] под ред. В. П. Лаврищева
Сохранить в:
Библиографические подробности
Другие авторы:
Боков Ю. С.
,
Корсаков В. С.
,
Лаврищев В. П.
Тип документа:
Книга
Язык:
Russian
Год издания:
Москва Энергия 1977
Рубрика:
Производство
Ключевые слова:
Фотолитография
Полупроводниковые приборы Производство
Фонды
Описание
Комментарии
Схожие документы
Marc-запись
Недоступно описание.
Схожие документы
Оптические основы контактной фотолитографии
Автор: Березин Г. Н.
Год издания: (1982)
Фото-, электронно- и рентгенорезисты
Автор: Боков Ю. С.
Год издания: (1982)
Генераторы изображений в производстве интегральных микросхем
Автор: Глазков И. М.
Год издания: (1981)
Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике
Автор: Валиев К. А.
Год издания: (1984)
Радиационная микролитография в процессах изготовления изделий функциональной электроники
Год издания: (1988)
×
Загрузка...