Введение в фотолитографию [Ю. С. Боков и др.] под ред. В. П. Лаврищева
Сохранить в:
Другие авторы: | Боков Ю. С., Корсаков В. С., Лаврищев В. П. |
---|---|
Тип документа: | Книга |
Язык: | Russian |
Год издания: |
Москва Энергия 1977
|
Рубрика: | |
Ключевые слова: |
Схожие документы
-
Оптические основы контактной фотолитографии
Автор: Березин Г. Н.
Год издания: (1982) -
Фото-, электронно- и рентгенорезисты
Автор: Боков Ю. С.
Год издания: (1982) -
Генераторы изображений в производстве интегральных микросхем
Автор: Глазков И. М.
Год издания: (1981) -
Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике
Автор: Валиев К. А.
Год издания: (1984) -
Радиационная микролитография в процессах изготовления изделий функциональной электроники
Год издания: (1988)