|
|
|
|
| LEADER |
00975nam0a2200277 i 4500 |
| 001 |
B8FC0C64-0C7D-45D0-9FEC-67DD4D724912 |
| 010 |
|
|
|d р.1.47
|
| 100 |
|
|
|a 20130401d1977 m y0rusy02
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a ||||000zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Введение в фотолитографию
|f [Ю. С. Боков и др.] под ред. В. П. Лаврищева
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Энергия
|d 1977
|
| 215 |
|
|
|a 400с.
|c ил.
|d 20 см
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 379-397
|
| 606 |
|
|
|a Фотолитография
|
| 606 |
|
|
|a Полупроводниковые приборы
|x Производство
|
| 686 |
|
|
|a 37
|2 rubbk
|
| 686 |
|
|
|a 64
|a 60.29
|2 rugasnti
|
| 701 |
|
1 |
|a Боков
|b Ю. С.
|g Юрий Сергеевич
|
| 701 |
|
1 |
|a Корсаков
|b В. С.
|
| 701 |
|
1 |
|a Лаврищев
|b В. П.
|g Вадим Петрович
|4 070
|
| 801 |
|
0 |
|b ГПНТБ России
|a RU
|c 20130401
|
