Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике К. А. Валиев, А. В. Раков
Сохранить в:
| Автор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | |
| Тип документа: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Год издания: |
Москва Радио и связь 1984
|
| Рубрика: | |
| Ключевые слова: |
Недоступно
| Шифр: |
Временно недоступно |
|---|---|
| Копировать 1 | Доступно |