Описание: Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике

Сохранить в:

Библиографические подробности
Автор:	Валиев К. А.
Другие авторы:	Раков А. В.
Тип документа:	Книга
Язык:	Russian
Год издания:	Москва Радио и связь 1984
Рубрика:	Производство
Ключевые слова:	Фотолитография Микроэлектронные схемы интегральные Производство

Недоступно описание.