Значок книги

Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике К. А. Валиев, А. В. Раков

Сохранить в:

Библиографические подробности
Автор:	Валиев К. А.
Другие авторы:	Раков А. В.
Тип документа:	Книга
Язык:	Russian
Год издания:	Москва Радио и связь 1984
Рубрика:	Производство
Ключевые слова:	Фотолитография Микроэлектронные схемы интегральные Производство

Схожие документы

Генераторы изображений в производстве интегральных микросхем
Автор: Глазков И. М.
Год издания: (1981)

Радиационная микролитография в процессах изготовления изделий функциональной электроники
Год издания: (1988)

Высокоразрешающая неорганическая фотолитография
Автор: Гранкин И. М.
Год издания: (1983)

Электронолитография
Автор: Васичев Б. Н.
Год издания: (1982)

Фото-, электронно- и рентгенорезисты
Автор: Боков Ю. С.
Год издания: (1982)

Физические основы микротехнологии
Автор: Броудай И.
Год издания: (1985)

Измерения и контроль в микроэлектронике
Год издания: (1984)

Микроэлектроника: достижения и пути развития
Автор: Валиев К. А.
Год издания: (1986)

Физика субмикронной литографии
Автор: Валиев К. А.
Год издания: (1990)

Физические основы твердотельных устройств обработки информации
Год издания: (1989)

Основы технологии тонких и толстых пленок
Автор: Мельниченко А. Т.
Год издания: (1989)

Основы технологии тонких и толстых пленок
Автор: Мельниченко А. Т.
Год издания: (1990)

Технологические основы гибридных интегральных схем
Автор: Готра З. Ю.
Год издания: (1977)

Технология обработки поверхностей в микроэлектронике
Автор: Полтавцев Ю. Г.
Год издания: (1990)

Толстопленочная технология в СВЧ микроэлектронике
Автор: Красов В. Г.
Год издания: (1985)

Системы технологического обеспечения качества компонентов микроэлектронной аппаратуры
Автор: Власов В. Е.
Год издания: (1987)

Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике
Автор: Румак Н. В.
Год издания: (1990)

Основы микросхемотехники. Элементы морфологии микроэлектронной аппаратуры
Автор: Алексенко А. Г.
Год издания: (1977)

Интегральные схемы. Основы проектирования и технологии
Год издания: (1970)

Обработка монокристаллов в микроэлектронике
Автор: Корбань В. И.
Год издания: (1988)

Технология и оборудование для производства микроэлектронных устройств
Автор: Борисенко А. С.
Год издания: (1983)

Технология производства интегральных микросхем
Автор: Малышева И. А.
Год издания: (1991)

Технология и конструирование интегральных микросхем
Автор: Березин А. С.
Год издания: (1983)

Технология интегральных схем
Автор: Достанко А. П.
Год издания: (1982)

Лазерная технология в производстве интегральных микросхем
Автор: Верховский Е. И.
Год издания: (1990)

Конструирование и технология микросхем
Год издания: (1984)

Прогрессивные методы производства микросхем
Автор: Демин В. В.
Год издания: (1973)

Ионное травление микроструктур
Автор: Данилин Б. С.
Год издания: (1979)

Технология микросхем
Автор: Парфенов О. Д.
Год издания: (1986)

Технология изготовления тонкопленочных элементов приборов
Автор: Котенко Г. И.
Год издания: (1979)

Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники
Год издания: (1991)

Радиационные эффекты в КМОП ИС
Автор: Никифоров А. Ю.
Год издания: (1994)

Линейные интегральные схемы в радиоэлектронной аппаратуре
Автор: Шило В. Л.
Год издания: (1974)

Оптические основы контактной фотолитографии
Автор: Березин Г. Н.
Год издания: (1982)

Ионное легирование в микроэлектронике
Автор: Грищенко А. Ф.
Год издания: (1985)

Применение прецизионных аналоговых ИС
Автор: Алексенко А. Г.
Год издания: (1980)

Современная микросхемотехника
Автор: Алексенко А. Г.
Год издания: (1979)

Популярно о цифровых микросхемах
Автор: Партин А. С.
Год издания: (1989)

Зарубежные интегральные микросхемы и их отечественные аналоги
Автор: Пучков Н. А.
Год издания: (1993)

Большие интегральные схемы и новое поколение средств микроэлектроники
Автор: Алексенко А. Г.
Год издания: (1977)