|
|
|
|
| LEADER |
01014nam0a2200265 i 4500 |
| 001 |
836C71C3-4CA5-42C8-A127-6D4F9C050A9E |
| 010 |
|
|
|d р.2.80
|
| 100 |
|
|
|a 20130211d1984 m y0rusy02
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a ||||000zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике
|f К. А. Валиев, А. В. Раков
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Радио и связь
|d 1984
|
| 215 |
|
|
|a 350с.
|c ил.
|d 22 см
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 338-347 (224 назв.)
|
| 606 |
|
|
|a Фотолитография
|
| 606 |
|
|
|a Микроэлектронные схемы интегральные
|x Производство
|
| 686 |
|
|
|a 32
|2 rubbk
|
| 686 |
|
|
|a 47
|2 rugasnti
|
| 700 |
|
1 |
|a Валиев
|b К. А.
|g Камиль Ахметович
|
| 701 |
|
1 |
|a Раков
|b А. В.
|g Александр Васильевич
|
| 801 |
|
0 |
|b ГПНТБ России
|a RU
|c 20130211
|
